上海半导体资源化设备研发及项目示范基地正式运行

项目示范基地正式运行

2025年中，上海市半导体资源化设备研发及项目示范基地正式投产，该基地聚焦半导体行业硫酸铵废液资源化利用，经政府部门审批后投入运行，标志着我国在解决半导体产业废液处理痛点领域迈出关键一步。

该基地的投产具有重要标志性意义：一方面，其针对半导体行业长期存在的废液处理难题，采用“预处理-蒸发结晶-资源化利用”先进工艺路线及MVR（机械蒸汽再压缩）技术，实现了硫酸铵废液的高效回收与资源化利用，有效解决了液体硫酸铵处置困境；另一方面，通过本地化处理显著降低了跨省长距离运输带来的环境风险，推动半导体行业环保治理向资源循环利用升级，成为上海推进“无废城市”建设、践行绿色循环经济的重要里程碑。基地的合规化投产与技术创新，为半导体产业绿色发展提供了关键支撑。

项目背景与政策支持

上海作为全国半导体产业重要基地，集聚了中芯国际、华虹集团等龙头企业，随着人工智能、大数据等技术发展推动芯片需求激增，产业规模持续扩张，2023年集成电路产业销售额达3251.9亿元，同比增长6.37%，预计2025年将突破5000亿元。然而，半导体产业快速发展伴随的废液处理压力日益凸显，芯片制造过程中产生大量硫酸铵废液，上海年产生量已超10万吨。此类废液成分复杂，不仅氨氮浓度高达5000-8000mg/L，远超《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中15mg/L的限值，还伴随铜、镍等重金属及有机污染物，若处理不当将严重威胁黄浦江流域生态安全。长期以来，由于上海市缺乏专业处置设施，这些废液需通过跨省运输处理，不仅增加企业运营成本（传统处置费用超3000元/吨），还存在运输泄漏破坏沿途生态的环境安全隐患，形成制约产业可持续发展的“处置困境”。

与此同时，上海市积极响应国家绿色发展号召，以“无废城市”建设为核心推动工业废弃物资源化利用与循环经济发展。政策层面，国家“十四五”循环经济规划明确将半导体固废资源化列为重点任务，上海市则进一步出台配套政策，包括对达标项目给予每吨150-300元的财政补贴，并在《固体废物综合治理工作方案》中提出2027年前实现半导体行业硫酸铵废液资源化率超85%、推动MVR技术普及率达70%的目标。此外，上海自贸区临港新片区总体方案将集成电路产业列为重点发展方向，提出建设前沿产业集群，盛美半导体等相关项目的建设得到市经信委、临港新片区管委会等多部门的大力支持。

综上，上海半导体资源化设备研发及项目示范基地的建设，既是应对半导体产业快速发展带来的废液处理刚需，也是落实国家及地方“无废城市”战略与循环经济政策的具体实践，通过构建本地化、专业化的资源化处置体系，实现产业需求与政策支持的协同，有效破解长期存在的废液处置困境，为半导体产业绿色可持续发展提供关键保障。