破解半导体废液处理难题，上海“变废为宝”助建“无废城市”

本报讯（记者 综合报道） 半导体产业高速发展的背后，大量高浓度工业废液的处理始终是一道棘手的环保难题。近日，位于上海金山区的一个一般工业固废硫酸铵废液资源化利用项目正式投入运营，旨在精准破解这一瓶颈，为上海“无废城市”建设提供新的金山样板。

 该项目由上海理际环保科技有限公司（以下简称“理际环保”）建设并运营，其核心目标是处理来自长三角地区，尤其是半导体集成电路制造企业产生的大量硫酸铵废液。在芯片蚀刻、清洗等关键工序中，硫酸铵是常见的副产品，其废液浓度高、处理成本大，传统方式多以委外处理或简单处理后排放为主，不仅环境风险突出，也是资源的巨大浪费。

“我们这个项目的核心，就是让这些被视作‘包袱’的废液，重新变成有价值的‘宝物’。”理际环保的技术负责人介绍。项目采用了国际先进的MVR（机械蒸汽再压缩）蒸发结晶系统技术。该技术通过电能驱动的高效压缩机，将蒸发过程中产生的二次蒸汽进行压缩，提升其温度和热焓后，再作为热源回用于系统本身。这一过程极大地降低了蒸发浓缩所需的外部新鲜蒸汽消耗，相比传统多效蒸发技术，可节能高达60%以上，实现了绿色低碳处理。 经过这套系统的精密加工，硫酸铵废液首先被高度浓缩，最终结晶析出高纯度的晶体硫酸铵。这些晶体硫酸铵产品纯度可达工业级或农业级标准，可作为优质的氮肥原料或化工生产原料，重新进入市场循环，真正实现了“从摇篮到摇篮”的资源闭环。

 据了解，该项目设计年处理废液能力可达数万吨，不仅能有效缓解区域半导体企业的固废处置压力，降低其环境风险和合规成本，更能通过资源化产品创造显著的经济效益，探索出了一条环保与经济发展共赢的新路径。

 生态环境局相关负责人对此项目表示高度认可，指出这是对《上海市“无废城市”建设工作方案》的积极响应和具体实践。该项目的成功运营，不仅补强了本市在危险废物之外的一般工业固废资源化利用链条，也为高端制造业密集区域如何破解特定固废处理难题、迈向绿色可持续发展提供了可复制、可推广的宝贵经验。

 未来，随着“无废城市”建设的深入推进，以金山理际环保为代表的资源化利用项目，将持续为上海的高质量发展注入绿色动能，助力城市在绿水青山中赢得金山银山。